М а т е р и а л ы X В с е р о с с и й с к о й н а у ч н о - п р а к т и ч е с к о й к о н ф е р е н ц и и
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
369
стеклянная обкладка содержит металлизированные полигоны, служащие
неподвижными обкладками дифференциального емкостного датчика угла. При
сборке ЧЭ в единую конструкцию методом электростатической сварки
(анодной посадки) обеспечивается высокая прочность сборочной единицы и
омический контакт «кремний-алюминий» для снятия электрического сигнала с
подвижной обкладки. ЧЭ помещается между двух магнитных систем,
обжимается хомутом и сваривается лазерной сваркой в нескольких точках.
Полученный ЧЭ устанавливается в корпус ДЛУМЭМС на кремний-
органический клей – герметик.
Таблица 1 - Маркировка выводов ДЛУММ и нового варианта ДЛУМЭМС
ДЛУ-ММ
ДЛУМЭМС
Номер
вывода
Адрес вывода
Номер
вывода
Адрес вывода
1 - 2
Моментный задатчик
1 - 2
Выход тестирования
3
Общий провод (земля)
3
Общий провод (земля)
4
Питание «+ 27 В»
4
Питание «+ 12 В»
5
Питание «- 27 В»
5
Питание «- 12 В»
6
Выход
6
Выход
Соединение ЧЭ с УП и датчика с внешним жгутом осуществляется через
гермовводы. Полости электроники и ЧЭ сообщаются через дополнительное
отверстие со стороны гермовводов. Герметизация ЧЭ и электроники
одновременная, заполнение смесью газов: 95 % сухого азота
N
2
для
предотвращения коррозии внутри прибора и 5 % гелия
He
для контроля
герметичности гелиевым течеискателем. Выводной жгут монтируется
пользователем на внешние гермовыводы. Конструктивно УП представляет
собой ГИС - микросборку, выполненную на одной подложке и приклеенную к
корпусу клеем ВК-9. Все навесные ЭРЭ - бескорпусные, а резисторы
изготовлены методом тонкопленочной технологии, что обеспечивает высокую
стабильность их номиналов, входящих в функциональные зависимости.
Применение ГИС-технологии обусловлено обеспечением требуемых
массогабаритных характеристик изделия. Соединение ЭРЭ на плате, а также
выводных контактов к гермовыводам корпуса осуществляется золотой
проволокой кр.Зл.99,99.
Для создания герметичного объема соединение кожуха, крышки и
корпуса осуществляется пайкой. С целью обеспечения более эффективного
теплорассеяния усилителем-преобразователем в окружающую среду и
получения более адекватных показаний встроенного датчика температуры, в
качестве материала подложки выбран поликор, имеющий в 30 раз большую
теплопроводность, чем ситалл.
Усилитель-преобразователь имеет шесть функциональных узлов:
вторичный пассивный источник стабилизированного опорного напряжения
