М а т е р и а л ы X В с е р о с с и й с к о й н а у ч н о - п р а к т и ч е с к о й к о н ф е р е н ц и и
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
365
мощность, габаритные размеры, вес датчика; существенно упростить
конструкцию. При этом сохранены эксплуатационные характеристики
акселерометра, а по температурной стабильности – улучшены.
Ключевые слова:
модернизация акселерометра, ДЛУ-ММ, ДЛУ-МЭМС,
интегральное исполнение, МЭМС-технологии, конструкция, температурная
стабильность.
Навигационные системы летательных аппаратов представляют собой
совокупность измерительных устройств (ИУ), блоков обработки и
преобразования выходных сигналов ИУ в командные, для управления
объектом. К навигационным системам предъявляются жесткие требования по
точности измерения и обработки входных сигналов, по потребляемой
мощности, по надежности, по стоимости и массогабаритным характеристикам.
Современная технология позволяет изготавливать датчики в
интегральном исполнении на основе технологии МЭМС с минимальным
количеством деталей в миниатюрном исполнении. Такие датчики обладают
высокой термостабильностью за счет свойств полупроводникового кремния как
основного конструкционного материала, потребляют значительно меньшую
мощность, имеют уменьшенные габариты, вплоть до микроминиатюрного
исполнения. Себестоимость таких датчиков заметно ниже. Замена «старых»
датчиков, выполненных по дифференциальной технологии, на датчики,
выполненные по МЭМС технологии, позволит уменьшить массогабаритные
характеристики всей системы и уменьшить ее потребляемую мощность.
Рассмотрим две задачи на модернизацию:
1) используя базовую деталь (основание) датчика, изготовленную по
старой технологии, заменить чувствительный элемент (ЧЭ) наЧЭ,
изготовленный по МЭМС технологии, с сохранением элементов базирования и
цоколевки выводов;
2) заменить датчик, изготовленный по старой технологии, на новый
датчик, изготавливаемый по МЭМС технологии. В этом случае потребуется
специальный переходный узел, который позволил бы обеспечить базирование
нового датчика по старым координатам на приборной плите и сохранить
соответствующие электрические цепи.
Нами рассмотрен вариант модернизации по первому направлению на
примере
акселерометра
ДЛУММ.
Вместо
сложной
конструкции
чувствительного элемента ДЛУММ предлагается использовать ЧЭ
интегрального акселерометра АТ1105, изготавливаемого на предприятии
АНПП «Темп-АВИА». Для этого от ДЛУММ используется деталь «основание»,
на которой монтируется ЧЭ АТ1105, электроника и крышка. В этом случае
цоколевка выводов и базовые элементы сохраняются те же, что и у старого
акселерометра.
