" Н а у к а м о л о д ы х " , 3 0 - 3 1 м а р т а 2 0 1 7 г . , А р з а м а с
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
368
запрессовать деталь «хвостовик», изготовленный из инвара или ковара. В этом
случае ЧЭ, изготовленный по технологии МЭМС, устанавливается по детали,
имеющей незначительный коэффициент температурного расширения. Инвар
рекомендуется для изготовления высокоточных измерительных и контрольных
приборов, требующих постоянных размеров в интервале климатических
изменений температуры. Ковар чаще всего используется для различных
вакуумноплотных спаев элементов приборов и аппаратов со стеклами С49-1,
С49-2, С48-1, С47-1.
Модернизация ДЛУММ позволяет существенно снизить металлоемкость
детали «основание» и трудоемкость ее изготовления, уменьшить габариты,
повысить стабильность за счет замены сложного по конструкции ЧЭ
интегральным.
а) основание в сборе;
б) хвостовик
Рис. 3. Доработанное основание ДЛУММ
Электронный блок с навесными элементами предполагается заменить на
микроэлектронный, с сохранением режима питания и адресов выводов (см.
таблицу), как в старом (ДЛУММ) так и в новом (условно назовем ДЛУМЭМС)
варианте датчика. Маркировка выводов ДЛУММ и нового варианта
ДЛУМЭМС совпадают.
Сохранение базовых элементов «основания» и адресов выводов нового
варианта датчика (ДЛУМЭМС) в соответствии со старым вариантом позволит
его использовать без каких либо изменений в стыковочных узлах на объекте его
эксплуатации.
Конструкция и принцип действия ДЛУМЭМС.
Конструкция акселерометра представляет собой моноблок, содержащий
два совместно герметизируемых отсека, в которых расположены ЧЭ и
усилитель-преобразователь (УП).
ЧЭ, выполненный по интегральной технологии (МЭМС), состоит из двух
стеклянных обкладок кольцевой формы и кристаллического элемента (КЭ),
который содержит подвижную массу, закрепленную на двух упругих подвесах
к рамке, имеющей контактные площадки для соединения с обкладками. Каждая
