" Н а у к а м о л о д ы х " , 3 0 - 3 1 м а р т а 2 0 1 7 г . , А р з а м а с
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
330
(лазерной подрезкой резистора, отвечающего за нулевой сигнал) способами.
Все эти методики могут устранить несимметричность не более 2 мкм.
Несоответствие величины зазора – это производственный брак. К
разности зазора по сторонам пластины приводит непостоянство скорости
анизотропного и изотропного травлений. Причинами разной скорости могут
быть:
- недостаточная химическая очистка пластин перед травлением (остатки
загрязнений, некачественные химические реактивы);
- применение химических реактивов для приготовления раствора
травителя, не удовлетворяющих требованиям чистоты;
- несоблюдение рецептуры раствора для травления;
- «мутное» изотропное и анизотропное травления.
По результатам проведенных исследований причин возникновения брака
в технологическом процессе изготовления элемента кристаллического можно
сделать вывод, что основная масса брака возникает из-за шестой
фотолитографии, т.к. пока не удается найти альтернативного способа нанесения
фоторезиста на рельефные поверхности. Выход годных на этой операции (без
дополнительных мер – ручного нанесения и стирания фоторезиста) составляет
55 %, с дополнительными мерами – 90 %.
____________________________
1.Вавилов В.Д. Интегральные датчики / В.Д. Вавилов. – Н.Новгород.:
НГТУ, 2003. - 503 с.
C.A.Злодеев, магистрант 2 курса
кафедра «Авиационные приборы и устройства» АПИ НГТУ им. Р.Е. Алексеева,
г. Арзамас
C.А.Костин, начальник группы РФЯЦ-ВНИИЭФ
г. Саров
РАЗРАБОТКА ОПЫТНОГО ОБРАЗЦА
ЧЕТЫРЕХКАНАЛЬНОГО ПЕРЕНОСНОГО РЕГИСТРАТОРА
Представлены
результаты
разработки
опытного
образца
четырехканального
переносного
регистратора,
используемого
для
преобразования первичной измерительной информации с различных датчиков
(давления,
температуры,
сейсмоустойчивости)
при
проведении
экспериментальных испытаний объектов в нестационарных условиях.
Разработана оригинальная структурная схема регистратора, состоящая из
двух трактов, и построена его функциональная схема. В статье приведены
