" Н а у к а м о л о д ы х " , 3 0 - 3 1 м а р т а 2 0 1 7 г . , А р з а м а с
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
320
Структура дифференциального емкостного акселерометра на КНИ-
пластине представляет собой плоский конденсатор с тремя обкладками, две из
них неподвижны, и одна имеет одну степень свободы. На рис. 1 обкладки
конденсатора 1 и 2 являются зафиксированными, а обкладка 3 может
совершать движение по вертикали. При данном виде движения емкость одного
конденсатора будет увеличиваться, а вторая емкость будет уменьшатся на
такую же величину.
Одной из разновидностей такого датчика перемещений является
встречно-штыревоевзаиморасположение
электродов
подвижной
и
неподвижных обкладок. На рис. 2 показана электрокинематическая схема
чувствительного элемента дифференциального емкостного акселерометра со
встречно-штыревым
размещением
обкладок.
Подвижные
обкладки
располагаются на подвижной массе, которая закреплена на несущей рамке при
помощи упругих подвесов. Зафиксированные электроды располагаются
справа и слева от подвижной массы.
Рис. 1. Конструкция дифференциального датчика перемещения
емкостного типа
Рис. 2. Электрокинетическая схема планарного чувствительного
элемента планарного акселерометра
Упругие
подвесы
Упругие
подвесы
Инерционная
масса
Обкладка 1
Обкладка 2
С1
С2
Обкладка
1
Обкладка
3
Обкладка
2
