" Н а у к а м о л о д ы х " , 3 0 - 3 1 м а р т а 2 0 1 7 г . , А р з а м а с
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
324
Регулировка нулевого сигнала осуществляется лазерной подрезкой
гребенчатых структур, что приводит к изменению начальной емкости плеч
дифференциального датчика угла. Регулировка крутизны осуществляется
регулировкой жесткости упругих подвесов.
В данной статье был описан расчет основных механических параметров
сенсора акселерометра, изготовленного на КНИ-структуре. Эти параметры,
связаны с геометрическимии размерами. Расчет производился с применением
аналитических формул. Жесткость упругого подвеса была приблизительно
определена с помощью аналитических формул, и также этот параметр был
уточнен с применением среды моделирования на основе конечно-элементного
анализа в программе ANSYS. Для регулировки нулевого сигнала и крутизны
преобразования предложено внести в конструкцию технологические перемычки
на упругих подвесах.
Библиографический список
1.
Dixon-Warren St.J. Chipworks Looks Inside the Freescale HARMEMS
Process [Chipworks]. URL:
s-
looks-inside-the-freescale-harmems-process.
2.
Piveteau L.D. Tiny Pump, Big Promise [Advanced Substrate News
no.12,
2009].URL:http://www.advancedsubstratenews.com/index.php?ne
wsletter=4&nomRubrique=END_USERAPPS&rubrique=74.
3.
Kuisma H. 3D MEMS - technology for the future available today [VTI
Technologies eNews]. URL:
enews/3d-mems.
4.
FreescaleSensor
Producst
Fact
Sheet
URL:
-
16654%201%20Billion%20Sensor%20Timeline%20 NEW_HR%206-12-09.jpg.
5.
Analysis, simulation and relative performances of two kinds of
serpentine springs / Giuseppe Barillaro, Antonio Molfese, Andrea Nannini, Francesco
Pieri // Journal of Micromechanics and Microengineering. 2005. Vol. 15. No. 4. P.
736-746.
6.
Airbag application: a microsystem including a silicon capacitive
accelerometer, CMOS switched capacitor electronics and true self-test capability / L.
Zimmermann, J. Ph. Ebersohl, F. Le Hung, J. P. Berry, F. Baillieu, P. Rey, B. Diem,
S. Renard, P. Caillat // Sensors and Actuators A: Physical. 1995. Vol. 46. Iss. 1-3. P.
190-195.
