" Н а у к а м о л о д ы х " , 3 0 - 3 1 м а р т а 2 0 1 7 г . , А р з а м а с
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
340
Создавая основы зондовой теории, Ленгмюр исходил из
предположения о наличии максвелловского распределения заряженных
частиц по скоростям в невозмущенной плазме. Однако, в плазме низкого
давления распределение скоростей электронов может сильно отличаться от
максвелловского, т.е. она заведомо неравновесная. В таких условиях, дважды
дифференцируя измеренную ВАХ зонда в плазме, можно восстановить
функцию распределения электронов по энергии. Этот вариант зондового
метода получил название метода Дрюйвестейна.
Экспериментальная установка собрана на основе статического МС [4]и
состоит из трех основных частей: вакуумной системы, электронной схемы и
испарителя (рис.4).
Рис. 4 Масс-спектрометр
Вакуумная система состоит из масс-спектрометрической камеры,
паромасляного насоса, форвакуумного насоса, трех клапанов, натекателя
камеры, трех датчиков измерения вакуума и обеспечивает давление в камере
10
-4
мм.рт.ст.
В вакуумной камере масс-спектрометра находятся резистивный
испаритель, датчик тонкопленочных напылений INFICON, блок источника
электронов, состоящий из катода и анода и зонд (рис.5).
