М а т е р и а л ы X В с е р о с с и й с к о й н а у ч н о - п р а к т и ч е с к о й к о н ф е р е н ц и и
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
325
А.В.Захаров, магистрант 2-го курса
кафедра «Авиационные приборы и устройства» АПИ НГТУ
им. Р.Е. Алексеева, г. Арзамас
А.В.Гаврилов, ведущий инженер
ПАО АНПП «ТЕМП-АВИА», г. Арзамас
ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПОГРЕШНОСТЕЙ
ЖИДКОСТНОЙ РАЗМЕРНОЙ ОБРАБОТКИ МОНОКРЕМНИЯ
Проблема повышения точностных характеристик МЭМС-датчиков за
счет
структурирования
погрешностей
изготовления
кремниевых
чувствительных элементов является актуальной. В работе рассмотрены и
структурированы основные виды брака при жидкостном травлении кремния.
Произведен анализ технологических процессов окисления, двухстороннего
совмещения, фотолитографии, жидкостного травления. Путем реализации
соответствующих мероприятий на базе использования приведенной в статье
иерархии дефектов возможно повышение качества МЭМС-датчиков на основе
монокремния.
Ключевые
слова:
монокремний,
жидкостное
травление,
фотолитография, окисление, напыление.
На современном этапе развития интегральных датчиков актуальной
является проблема повышения точности первичных преобразователей за счет
модернизации технологических процессов их изготовления.
Основными материалами, из которых изготавливаются первичные
преобразователи (сенсоры) акселерометров, являются монокристаллический
кремний и боросиликатное стекло. Основным способом изготовления деталей
первичного преобразователя является жидкостное анизотропное и изотропное
травление кремния.
Основным требованием к поверхности кремниевой пластины перед
окислением является качество поверхности кремния – отсутствие
шероховатостей и остаточных загрязнений после операции травления кремния.
Если на пластине остались загрязнители в зоне напыления дорожки, то это
может привести к дефекту окисной пленки и появлению контакта «кремний-
алюминий».
На качество кремниевой поверхности может повлиять процесс
химической очистки кремниевых пластин. Наличие посторонних примесей в
перекисно-аммиачном растворе может привести к образованию локальных
примесей или соединений кремния на пластине, что в свою очередь приведет к
дефекту окисла.
