" Н а у к а м о л о д ы х " , 3 0 - 3 1 м а р т а 2 0 1 7 г . , А р з а м а с
П о с в я щ а е т с я 1 0 0 - л е т и ю Р о с т и с л а в а Е в г е н ь е в и ч а А л е к с е е в а
318
основной амплитуда отклонения достаточно быстро затухает. Остальные
формы колебаний можно не рассматривать.
У цилиндрического резонатора существует теоретическое решение
собственных частот колебаний [1].
)
n(n
)
n(nk
k
n
)k(
1
1
2 2
2
2 42 4
−
−
+ ηβ
= ω
,
где
)
(R
Е
2
2
1
ν− ρ
=η
;
η =
2
2
2
3
R
h k
;
[
]
22
22
2
2
2
4
1
1
)n (kn )n (
n
−
− + ω
η
=β
;модуль
упругости
8
10 2000
⋅
=
Е
H/м
2
; коэффициент Пуассона
270
.
=ν
; плотность
8200
=ρ
кг/м
3
; длина резонатора
3
10 38
−
⋅
=
h
м;радиус резонатора
3
1046
−
⋅
=
.
R
м; мода
колебаний
2
=
n
. Теоретическая частота(расчетная) собственных колебаний
резонатора на второй моде колебаний:
7980
2
=ω
Гц.
Теоретические результаты близки к полученным значениям при
моделировании с помощью программного пакета
ANSYS
. Таким образом,
результаты моделирования можно считать достоверными, и эта методика
расчета может использоваться для других типов ЧЭ
Библиографическийсписок
1. USPatent №7281425.Coriolisforcegyroscopewithhighsensitivity / ValeryV.
Chikovani, YuriA. Yatzenko, VladimirA. Kovalenko. Issuedate: Jun. 17, 2007.
2.
ЛунинБ.С.,
МатвеевВ.А.,
БасарабМ.А.
Волновойтвердотельныйгироскоп. Теория и технология. – М.: Радиотехника,,
2014. – С. 174.
Д.Н. Гуркин, магистрант 2 курса
Кафедра «Авиационные приборы и устройства» АПИ НГТУ им.
Р.Е. Алексеева, г. Арзамас
ПРОЕКТИРОВАНИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА
МИКРОСТРУКТУРЕ КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ
В статье рассмотрен принцип создания акселерометра на КНИ-
структуре. Проведено описание его конструкции и принципа действия. Описан
технологический процесс его изготовления. Для более точного расчета
предлагается использовать САПР. Описан расчет упругого подвеса сложной
геометрии.
