М а т е р и а л ы X I I В с е р о с с и й с к о й н а у ч н о - п р а к т и ч е с к о й к о н ф е р е н ц и и
П о с в я щ а е т с я 8 5 - л е т и ю в ы с ш е г о п е д а г о г и ч е с к о г о о б р а з о в а н и я в А р з а м а с е и
8 0 - л е т и ю п р о ф е с с о р а В я ч е с л а в а П а в л о в и ч а П у ч к о в а
331
;
Рис. 2. Конструкция датчика избыточного давления: 1– мембрана; 2 – корпус
мембраны; 3 – основание; 4 – проводники; 5 –жгут; 6 – стакан; 7 – проводники; 8 –
гермовводы; 9 – кольцо; 10 – фланец; 11 – крышка
Гермовводы проходят через изолятор и неразъемно соединяются с
контактными группами. Снаружи они подключаются к матрице
балансировочных резисторов, защищенных от внешней среды крышкой и
залитых компаундом. Датчик оснащен универсальным разъемом РСГ 19 ТВ.
В сенсоре датчика (по сравнению с аналогичными конструкциями, в
котором применен тензомост, отделенный от мембраны обычным
р
-
n
переходам) применены группы резисторов с полноценной изоляцией, со
структурой «кремний – диэлектрик – кремний». Данное нововведение
позволяет повысить диапазон рабочих температур с + 85°С до + 120 °С при
сохранении требуемой крутизны преобразования и статической точности.
В соответствии с техническим заданием в сенсоре датчика напылен
каскад поликремниевых резисторов, выполняющих роль термодатчика.
Основная задача термодатчика – минимизация дополнительной погрешности,
вызванной изменением температуры окружающей среды.
Еще одной особенностью прибора является применение защитной
мембраны, что расширяет область применения датчика.
Возможны два варианта вспомогательной среды, передающей давление
на рабочую мембрану – жидкость либо газ.
На рис. 3 показана конструкция сенсора датчика давления с жидкостью в
защитной камере. При использовании жидкости (специализированного
полимерного состава) принимается еѐ несжимаемость.
