М а т е р и а л ы X I I В с е р о с с и й с к о й н а у ч н о - п р а к т и ч е с к о й к о н ф е р е н ц и и
П о с в я щ а е т с я 8 5 - л е т и ю в ы с ш е г о п е д а г о г и ч е с к о г о о б р а з о в а н и я в А р з а м а с е и
8 0 - л е т и ю п р о ф е с с о р а В я ч е с л а в а П а в л о в и ч а П у ч к о в а
307
Для акселерометров с измененным конструктивно-технологическим
исполнением усилителя-преобразователя в виде БМК исследования
проводились аналогичным образом. В таблице 2 представлены результаты
исследований конструкции микромеханического акселерометра с элементами
планарной технологии, а на рис. 4,5,6 – графики АЧХ исследуемых образцов.
Таблица 2. Зависимость выходного напряжения от частоты
Частота, Гц
40
60
80
100
120
140
160
180
200
Напряжение,
В
№ 1
1,485 1,522 1,561 1,593 1,632 1,628 1,602 1,546 1,457
№ 2
1,548 1,597 1,644 1,691 1,735 1,702 1,603 1,487 1,356
№ 3
1,524 1,571 1,658 1,689 1,617 1,564 1,432 1,305 1,174
Частота, Гц
220
240
260
280
300
320
340
360
380
Напряжение,
В
№ 1
1,328 1,211 1,098 0,920 0,777 0,603 0,487 0,337 0,209
№ 2
1,246 1,167 1,064 0,910 0,756 0,598 0,472 0,289 0,167
№ 3
1,085 0,913 0,754 0,613 0,498 0,365 0,244 0,135 0,067
Частота, Гц
400
Напряжение,
В
№ 1
0,113
№ 2
0,054
№ 3
0,023
Рис. 4. График АЧХ акселерометра № 1 с измененным конструктивно-
технологическим исполнением усилителя-преобразователя
