Нагревательные печи и устройства
239
В установках для микрообработки применяется большей частью
импульсный режим управления током электронного пучка, для чего в
конструкцию электронной пушки вводится третий электрод, получив-
ший название управляющего (рис. 9.15). Ток электронного пучка изме-
няется (модулируется) потенциалом на управляющем электроде. Малая
инерционность такого способа управления током пучка позволяет с
большой точностью управлять дозировкой вводимой в обрабатываемое
изделие тепловой энергии.
Рис. 9.15. Схема разреза ЭЛУ для размерной обработки материалов:
1
– катод;
2
– управляющий электрод;
3
– анод;
4
– короткофокусная магнитная линза;
5
– длиннофокусная магнитная линза;
6
– корректирующие катушки;
7
– диафрагма;
8
– электронный пучок
Ниже рассматриваются электронно-лучевые устройства, исполь-
зуемые только в условиях термообработки. На рис. 9.16 показана уста-
новка, использующая аксиальную электронную пушку. Напряжение
подается в пушку через ввод
1
с изолятором
2
на вольфрамовый
катод
3
. За катодом находится анод
4
и колонковый клапан
5
. Патрубок
10
связан с вакуум-насосом. Разрежение в камере пушки лежит на
уровне 10
-3
– 10
-4
Па. Фокусировка пучка осуществляется электромаг-
нитными линзами
7
и
6
. В общей рабочей камере
8
поддерживается
вакуум 10
-2
– 10
-3
Па.
На рис. 9.16,
а
дана схема установки для высокотемпературного
отжига узкой ленты из трансформаторной стали. Непрерывный нагрев
ленты происходит путем перемотки ее с одного барабана на другой.
