И Н Т Е Г Р А Л Ь Н А Я  О П Т И К А
          
        
        
          
            87
          
        
        
          тонких пленок системы As-S, что снижает потребляемую мощность для обеспе-
        
        
          чения эффективного акустооптического взаимодействия в ОВ в несколько раз.
        
        
          Увеличение динамического диапазона ОИС-спектроанализаторов дости-
        
        
          гается применением линз с малыми значениями радиуса кривизны и фокусного
        
        
          расстояния и ОВ с повышенным уровнем лучевой прочности материала. В на-
        
        
          стоящее время динамический диапазон ОИС-спектроанализаторов, изготовлен-
        
        
          ных на основе ниобата лития достигает 45 дБ.
        
        
          Для повышения степени интеграции ОИС-спектроанализаторы выполня-
        
        
          ют на кремниевых подложках с изолирующим слоем SiO
        
        
          2
        
        
          . Матрица фотопри-
        
        
          емников формируется непосредственно на кремниевой подложке, а в качестве
        
        
          планарного ОВ могут использоваться  пленки аморфных диэлектриков. Для
        
        
          возбуждения ПАВ на поверхность ОВ дополнительно наносится пленка ZnO,
        
        
          на которой формируют встречно-штыревой преобразователь ПАВ. Такие
        
        
          ОИС-спектроанализаторы  на кремниевых подложках могут иметь достаточно
        
        
          большие размеры, что позволяет повысить их разрешение по частоте, однако в
        
        
          этом случае возрастают трудности при стыковке полупроводникового лазера с
        
        
          волноводом ОИС.
        
        
          
            6.3. Интегрально-оптические аналого-цифровые
          
        
        
          
            и цифро-аналоговые преобразователи
          
        
        
          Интегрально-оптические аналого-цифровые преобразователи широкопо-
        
        
          лосных сигналов (ИО-АЦП) являются  перспективными устройствами для та-
        
        
          ких областей применения, как широкополосная связь, радиолокация, радиопро-
        
        
          тиводействие. Наиболее широкое  применение нашли ИО-АЦП на основе вол-
        
        
          новодных электрооптических модуляторов интерферометрического типа.
        
        
          Схема четырехразрядного электрооптического АЦП на основе волновод-
        
        
          ных модуляторов типа Маха-Цандера представлена на рис. 6.2,
        
        
          
            а
          
        
        
          , где
        
        
          
            1
          
        
        
          – им-
        
        
          пульсное лазерное излучение;
        
        
          
            2
          
        
        
          – подложка с ОИС;
        
        
          
            3
          
        
        
          -
        
        
          
            6
          
        
        
          – модуляторы МЗР
        
        
          (младшего значащего разряда), ПЗР (предпоследнего значащего разряда), ВЗР
        
        
          (верхнего значащего разряда) и СЗР (старшего значащего разряда) соответст-
        
        
          венно;
        
        
          
            7
          
        
        
          – оптический опорный сигнал;
        
        
          
            8
          
        
        
          – сигнальные электроды;
        
        
          
            9
          
        
        
          – электро-
        
        
          ды смещения;
        
        
          
            10
          
        
        
          – фотодетекторы;
        
        
          
            11
          
        
        
          – усилитель;
        
        
          
            12
          
        
        
          – компаратор;
        
        
          
            13
          
        
        
          – уси-
        
        
          литель входного аналогового сигнала.
        
        
          Аналоговый сигнал
        
        
          
            U
          
        
        
          (
        
        
          
            t
          
        
        
          ) подается на матрицу волноводных электорооп-
        
        
          тических модуляторов, каждый из которых соответствует двоичному разряду
        
        
          преобразователя. Выходные сигналы модуляторов регистрируются фотодиода-
        
        
          ми и через усилительный каскад подаются на компараторы для сравнения с
        
        
          опорным сигналом, поступающим от общего источника оптического излучения.
        
        
          Для каждого разряда генерация бинарного сигнала (единицы или нуля) зависит
        
        
          от того, превышает выходной сигнал модулятора значение опорного сигнала,
        
        
          которое выбрано равным
        
        
          
            I
          
        
        
          0
        
        
          /2 (где
        
        
          
            I
          
        
        
          0
        
        
          – максимальная интенсивность  выходного
        
        
          сигнала модулятора), или он меньше его. Аналоговый сигнал дискретезируется
        
        
          оптическим методом с помощью последовательности коротких оптических им-