И Н Т Е Г Р А Л Ь Н А Я О П Т И К А
56
В устройствах интегральной оптики в отличие от устройств, работающих
в СВЧ-диапазоне, набор излучателей, как правило, жестко связан с волновод-
ной системой. Вывод и ввод излучения возможен как при нанесении на ее по-
верхность набора излучателей, так и при периодической вариации ее толщины
или т.п. Некоторые типы таких волноводов с периодически изменяемыми па-
раметрами представлены на рис. 3.11.
Подложка
Подложка
Подложка
а
)
б
)
в
)
Рис. 3.11
На рис. 3.11,
а
представлена решетка из фоторезиста в виде набора от-
дельных излучателей, нанесенных непосредственно на поверхность пленки. На
рис. 3.11,
б
– объемная решетка, создаваемая в слое желатина. На рис. 3.11,
в
– решетка, созданная, путем периодического изменения толщины пленки. В
первом и втором случае возбуждение осуществляется со стороны воздуха, в
третьем – со стороны подложки.
Вопрос, с какой стороны освещать решетку для возбуждения волновода и
с какой стороны ставить приемник для регистрации света, излучаемого из вол-
новода, важен для практики.
В волноводе с периодически изменяющейся толщиной пленки
(рис. 3.12) волна, распространяющаяся слева направо, может излучаться на гоф-
рированном участке в среды под углами
i
ϕ
, определяемыми следующими вы-
ражениями:
i
m
im
n
l
Λλ− γ
= ϕ
sin
,
(3.16)
где
3,2,1
=
i
– номер среды.
Λ
1
2
3
n
1
n
3
n
2
ϕ
mi
ϕ
mi
Рис. 3.12
I...,46,47,48,49,50,51,52,53,54,55 57,58,59,60,61,62,63,64,65,66,...108